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Method of fabricating organic thin film transistor using surface energy control

机译:利用表面能控制制造有机薄膜晶体管的方法

摘要

Provided is a method of fabricating an organic thin film transistor (OTFT) using surface energy control. The method changes a polarity of a gate insulating layer to a polarity of a semiconductor channel layer to be formed on the gate insulating layer by controlling surface energy of the gate insulating layer, thereby promoting growth of the semiconductor channel layer on the gate insulating layer. According to the method, the interface characteristics between the gate insulating layer and the semiconductor channel layer are improved, and thus it is possible to implement an OTFT that can minimize leakage current and has high field effect mobility and low turn-on voltage.
机译:提供一种使用表面能控制来制造有机薄膜晶体管(OTFT)的方法。该方法通过控制栅极绝缘层的表面能,将栅极绝缘层的极性改变为将在栅极绝缘层上形成的半导体沟道层的极性,从而促进了栅极绝缘层上的半导体沟道层的生长。根据该方法,改善了栅极绝缘层和半导体沟道层之间的界面特性,因此可以实现可以使漏电流最小并且场效应迁移率高且导通电压低的OTFT。

著录项

  • 公开/公告号US8058115B2

    专利类型

  • 公开/公告日2011-11-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LEE-MI DO;KYU-HA BAEK;

    申请/专利号US20090435721

  • 发明设计人 KYU-HA BAEK;LEE-MI DO;

    申请日2009-05-05

  • 分类号H01L21/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 17:26:55

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