公开/公告号KR20120104117A
专利类型
公开/公告日2012-09-20
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号KR20120024508
发明设计人 KAZINCZI ROBERT;MEGENS HENRICUS JOHANNES LAMBERTUS;WANG JEN SHIANG;MULKENS JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS;ENGELEN ADRIANUS FRANCISCUS PETRUS;
申请日2012-03-09
分类号H01L21/027;G03F7/20;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:09:10