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A METHOD OF IMAGING RADIATION FROM AN OBJECT ON A DETECTION DEVICE AND AN INSPECTION DEVICE FOR INSPECTING AN OBJECT

机译:一种从物体上的成像辐射成像的方法以及一种用于检验物体的检查设备

摘要

A method for imaging the radiation from the object on the detection device is provided. The method includes the steps of directing the coherent radiation beam to the object, the step of scanning the radiation beam over a predetermined angle of the incident plane in or out relative to the object, and imaging the scattered radiation from said object on said detecting device It includes the step of.
机译:提供一种用于将来自物体的辐射成像在检测装置上的方法。该方法包括以下步骤:将相干辐射束引导到物体;在相对于物体的入射平面内或向外的预定入射角角度上扫描辐射束的步骤;以及将来自所述物体的散射辐射成像在所述检测装置上的步骤。它包括步骤。

著录项

  • 公开/公告号KR101155067B1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20097022155

  • 申请日2008-03-21

  • 分类号G01N21/95;G01N21/88;G06T7;G01B11/30;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 17:07:57

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