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SOI FINFET WITH REDUCED FIN WIDTH DEPENDENCE

机译:具有减小的鳍片宽度依赖性的SOI FINFET

摘要

The present invention relates to a method for polarizing at least a first finfet transistor (1000) and a second finfet transistor (1000), wherein the first finfet transistor has a fin width bigger than the fin width (W1) of the second finfet transistor, and both the first finfet transistor and the second finfet transistor have a back-gate (1600), and the method comprising applying the same first voltage on the back-gate of the first finfet transistor and on the back-gate of the second finfet transistor so as to reduce the spread between the off-current value of the first finfet transistor and the off-current value of the second finfet transistor.
机译:本发明涉及一种至少使第一鳍式晶体管(1000)和第二鳍式晶体管(1000)极化的方法,其中第一鳍式晶体管的鳍片宽度大于第二鳍片式晶体管的鳍片宽度(W1),并且第一finfet晶体管和第二finfet晶体管都具有背栅(1600),并且该方法包括在第一finfet晶体管的背栅和第二finfet晶体管的背栅上施加相同的第一电压从而减小第一finfet晶体管的截止电流值和第二finfet晶体管的截止电流值之间的差异。

著录项

  • 公开/公告号WO2014040981A1

    专利类型

  • 公开/公告日2014-03-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SOITEC;

    申请/专利号WO2013EP68706

  • 发明设计人 HOFMANN FRANZ;

    申请日2013-09-10

  • 分类号H01L29/78;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 15:51:03

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