公开/公告号EP2361402A4
专利类型
公开/公告日2014-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 HELIOS APPLIED SYSTEMS PTE LTD;
申请/专利号EP20090835361
发明设计人 KAN SHYI-HERNG;
申请日2009-11-23
分类号G03F1/00;B82Y10/00;B82Y40/00;G03F7/00;G03F7/20;G03F7/24;G03F7/40;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:50:06