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Combining nanoimprint lithography and a molecular weight selective thermal reflow for the generation of mixed 3D structures

机译：结合Nanoimprint光刻和分子量选择性热回流来产生混合3D结构的产生

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Arne Schleunitz; Christian Spreu; Marko Vogler; Hakan Atasoy; Helmut Schift;
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年度 2011
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1. Combining nanoimprint lithography and a molecular weight selective thermal reflow for the generation of mixed 3D structures [J] . Arne Schleunitz, Christian Spreu, Marko Vogler, Journal of Vacuum Science & Technology . 2011,第6期

机译：结合纳米压印光刻和分子量选择性热回流以生成混合3D结构
2. Fabrication of 3D nanoimprint stamps with continuous reliefs using dose-modulated electron beam lithography and thermal reflow [J] . Arne Schleunitz, Helmut Schift Journal of Micromechanics and Microengineering . 2010,第9期

机译：使用剂量调制电子束光刻和热回流制造具有连续浮雕的3D纳米压印印模
3. Selective profile transformation of electron-beam exposed multilevel resist structures based on a molecular weight dependent thermal reflow [J] . Arne Schleunitz, Vitaliy A. Guzenko, Andreas Schander, Journal of Vacuum Science & Technology . 2011,第6期

机译：基于分子量依赖性热回流的电子束曝光多层抗蚀剂结构的选择性轮廓转换
4. How post-processing by selective thermal reflow can reduce the roughness of 3D lithography in micro-optical lenses [C] . Robert Kirchner, Nachiappan Chidambaram, Mirco Altana, Laser 3D Manufacturing IV . 2017

机译：通过选择性热回流进行的后处理如何降低微光学透镜中3D光刻的粗糙度
5. Nanostructured surfaces using thermal nanoimprint lithography: Applications in thin membrane technology, piezoelectric energy harvesting and tactile pressure sensing. [D] . Nabar, Bhargav Pradip. 2013

机译：使用热纳米压印光刻技术的纳米结构表面：在薄膜技术，压电能量收集和触觉压力感测中的应用。
6. Integrated 3D Hydrogel Waveguide Out-Coupler by Step-and-Repeat Thermal Nanoimprint Lithography: A Promising Sensor Device for Water and pH [O] . Achille Francone, Timothy Kehoe, Isabel Obieta, 2018

机译：通过分步重复热纳米压印光刻技术实现的集成3D水凝胶波导输出耦合器：一种有前途的水和pH传感器设备
7. Molecular Orientation of Photoinduced Liquid Crystalline Polymer with 3D Structure fabricated by Thermal Nanoimprinting [O] . Makoto Okada, Emi Nishioka, Mizuho Kondo, 2013

机译：热纳米压印制造3D结构光致液晶聚合物的分子取向

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