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METHOD OF TRANSFERRING THIN FILM, METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, METHOD OF FORMING PIXEL ELECTRODE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE

机译:转移薄膜的方法,制造薄膜晶体管的方法,形成液晶显示器的像素电极的方法

摘要

A method of transferring a thin film is a method of transferring a thin film formed on a first substrate to a second substrate, the method including: allowing the first substrate to come into contact with a liquid to swell the first substrate; allowing the second substrate and the thin film to come into contact with each other via the liquid; and drying the liquid to allow the thin film to adhere to the second substrate.
机译:转移薄膜的方法是将形成在第一基板上的薄膜转移到第二基板的方法,该方法包括:使第一基板与液体接触以使第一基板膨胀。使第二基板和薄膜经由液体彼此接触;干燥液体以使薄膜粘附到第二基板上。

著录项

  • 公开/公告号US2015318306A1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-11-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NIKON CORPORATION;

    申请/专利号US201514798964

  • 发明设计人 MAKOTO NAKAZUMI;YASUTAKA NISHI;

    申请日2015-07-14

  • 分类号H01L27/12;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:24:39

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