公开/公告号US9093503B1
专利类型
公开/公告日2015-07-28
原文格式PDF
申请/专利号US201414146788
发明设计人 FEN CHEN;MUKTA G. FAROOQ;JEFFREY P. GAMBINO;ZHONG-XIANG HE;KEVIN S. PETRARCA;ANTHONY K. STAMPER;
申请日2014-01-03
分类号H01L23/522;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:18:49