公开/公告号US9018103B2
专利类型
公开/公告日2015-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201314038388
发明设计人 THORSTEN LILL;HARMEET SINGH;SIRISH K. REDDY;THOMAS W. MOUNTSIER;AARON EPPLER;JOYDEEP GUHA;VAHID VAHEDI;KAUSHIK CHATTOPADHYAY;
申请日2013-09-26
分类号H01L21/302;H01L21/308;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:18:12