公开/公告号WO2015117150A1
专利类型
公开/公告日2015-08-06
原文格式PDF
申请/专利号WO2015US14309
发明设计人 YU KAI-HUNG;HASEGAWA TOSHIO;ISHIZAKA TADAHIRO;OIE MANABU;AMANO FUMITAKA;CONSIGLIO STEVEN;WAJDA CORY;MAEKAWA KAORU;LEUSINK GERT J.;
申请日2015-02-03
分类号H01L21/205;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:04:59