公开/公告号US2015221550A1
专利类型
公开/公告日2015-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201514613086
发明设计人 TOSHIO HASEGAWA;TADAHIRO ISHIZAKA;MANABU OIE;GERT J. LEUSINK;FUMITAKA AMANO;CORY WAJDA;STEVEN CONSIGLIO;KAI-HUNG YU;KAORU MAEKAWA;
申请日2015-02-03
分类号H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:22:07