公开/公告号EP2876671A1
专利类型
公开/公告日2015-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;
申请/专利号EP20130820690
发明设计人 ADACHI SHUICHIRO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;KURATA YASUSHI;TANAKA TOORU;ORITA AKIHIRO;HAYASAKA TSUYOSHI;HATTORI TAKASHI;MATSUMURA MIEKO;WATANABE KEIJI;MORISHITA MASATOSHI;HAMAMURA HIROTAKA;
申请日2013-07-19
分类号H01L21/316;C09K3;H01L21/312;H01L31/04;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:02:41