法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/316 授权公告日:20180119 终止日期:20180712 申请日:20130712
专利权的终止
2018-01-19
授权
授权
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/316 申请日:20130712
实质审查的生效
2015-04-01
公开
公开
机译: 场效应钝化层形成用组合物,具有场效应钝化层的半导体基板,具有场效应钝化层的半导体基板的制造方法,太阳能电池元件,太阳能电池元件的制造方法以及太阳能电池
机译: 形成钝化层的组合物,具有钝化层的半导体基板,具有钝化层的半导体基板的制造方法,太阳能电池元件,制造太阳能电池元件和太阳能电池的方法
机译: 形成钝化层的组合物,具有钝化层的半导体基板,具有钝化层的半导体基板的制造方法,太阳能电池元件,太阳能电池元件的制造方法以及太阳能电池