公开/公告号JP2016189307A
专利类型
公开/公告日2016-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO LTD;
申请/专利号JP20150069817
申请日2015-03-30
分类号H01B1/22;H01L31/0224;H01L31/05;H01L31/068;H01B1/02;C22C9/02;C22C9/06;B22F1;C22C32;H01L21/28;H01L21/288;H01B5/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:46:15