公开/公告号JP2016027661A
专利类型
公开/公告日2016-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO LTD;
申请/专利号JP20150186839
发明设计人 ODA AKIHIRO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;KURATA YASUSHI;MACHII YOICHI;IWAMURO MITSUNORI;SHIMIZU MARI;SATO TETSUYA;ASHIZAWA TORANOSUKE;
申请日2015-09-24
分类号H01L21/225;H01L31/18;H01L31/068;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:45:23