公开/公告号US9343679B2
专利类型
公开/公告日2016-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 DAI NIPPON PRINTING CO. LTD.;
申请/专利号US201314371181
发明设计人 YOSHINORI HIROBE;YUTAKA MATSUMOTO;MASATO USHIKUSA;TOSHIHIKO TAKEDA;KATSUNARI OBATA;HIROYUKI NISHIMURA;
申请日2013-01-11
分类号H01L51;C23C16/04;C23C14/24;C23C14/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:31:32