公开/公告号US9263558B2
专利类型
公开/公告日2016-02-16
原文格式PDF
申请/专利号US201414452032
发明设计人 J. GARY EDEN;CLARK J. WAGNER;BENBEN LI;DANE J. SIEVERS;PAUL A. TCHERTCHIAN;THOMAS J. HOULAHAN;
申请日2014-08-05
分类号H01L29/66;H01L29/73;H01J17/06;H01J17/49;H01L33/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:30:47