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Integrated circuits having magnetic tunnel junctions (MTJ) and methods for fabricating the same

机译:具有磁性隧道结(mtj)的集成电路及其制造方法

摘要

Integrated circuits with magnetic tunnel junction (MTJ) structures and methods for fabricating integrated circuits with MTJ structures are provided. An exemplary method for fabricating an integrated circuit includes forming a first conductive line in electrical connection with an underlying semiconductor device. The method exposes a surface of the first conductive line. Further, the method selectively deposits a conductive material on the surface of the first conductive line to form an electrode contact. The method includes forming a MTJ structure over the electrode contact.
机译:提供了具有磁性隧道结(MTJ)结构的集成电路以及用于制造具有MTJ结构的集成电路的方法。用于制造集成电路的示例性方法包括形成与下面的半导体器件电连接的第一导线。该方法暴露第一导线的表面。此外,该方法在第一导线的表面上选择性地沉积导电材料以形成电极接触。该方法包括在电极触点上方形成MTJ结构。

著录项

  • 公开/公告号US9299745B2

    专利类型

  • 公开/公告日2016-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;

    申请/专利号US201414272916

  • 申请日2014-05-08

  • 分类号H01L21/02;H01L27/22;H01L43/12;H01L43/08;H01L43/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 14:29:00

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