公开/公告号US9257300B2
专利类型
公开/公告日2016-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201313937930
申请日2013-07-09
分类号H01L21/302;H01L21/461;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/033;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:27:45