公开/公告号EP3114705A1
专利类型
公开/公告日2017-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA - TENCOR CORPORATION;
申请/专利号EP20150758366
发明设计人 CHANG WEI;RAO KRISHNA;GUTIERREZ JOSEPH;OLAVARRIA RAMON;MACNAUGHTON CRAIG;AZORDEGAN AMIR;DIGHE PRASANNA;
申请日2015-03-05
分类号H01L21/66;G01B9/02;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:04:17