公开/公告号US2017263893A1
专利类型
公开/公告日2017-09-14
原文格式PDF
申请/专利号US201515508732
发明设计人 DONG HYUN KIM;SEO HYUN KIM;EUI SOO KIM;KYOUNG WOOK PARK;IL HEE BAEK;CHANG MIN SONG;GUN SANG YOON;HONG YOON;JOO YOUNG LEE;HYUN HEE LEE;EUN HO CHOI;
申请日2015-09-03
分类号H01L51/52;C23C14/48;H01L51/56;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:52:47