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金属氧化物驱动有机发光二极管显示器

摘要

本文使用金属氧化物作为半导体驱动OLED显示屏,氧化物TFT的结构为刻蚀阻挡层结构.为了使OLED有比较好的显示效果,本文对氧化物退火及ESL成膜工艺进行优化调整,使得使得TFT的在1小时的Vgs=30V偏压下阈值偏移为0.47V,利用该IGZO TFT制造出5寸AMOLED显示屏,在显示均一性,mura和短时间残影上都表现出很高的水准.

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