公开/公告号US2017073841A1
专利类型
公开/公告日2017-03-16
原文格式PDF
申请/专利号US201515308951
申请日2015-05-06
分类号C30B29/66;C23C14/22;H01L21/02;H01L29/423;H01L29/786;C30B23/02;H01L29/16;H01L29/22;H01L29/20;C30B29/06;C30B29/08;C30B25/18;C23C16/44;H01L29/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:50:41