公开/公告号US9768322B2
专利类型
公开/公告日2017-09-19
原文格式PDF
申请/专利号US201615225592
申请日2016-08-01
分类号H01L29/786;H01L29/49;H01L29/66;H01L23/00;H01L21/8234;H01L21/4763;H01L21/324;H01L21/321;H01L21/383;H01L21/477;H01L21/428;H01L29/45;H01L21/44;H01L23/31;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:46:54