公开/公告号US9805941B2
专利类型
公开/公告日2017-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201715400368
发明设计人 KEREN JACOBS KANARIK;JEFFREY MARKS;HARMEET SINGH;SAMANTHA TAN;ALEXANDER KABANSKY;WENBING YANG;TAESEUNG KIM;DENNIS M. HAUSMANN;THORSTEN LILL;
申请日2017-01-06
分类号H01L21/3065;H01L21/67;H01L21/02;C23C16/455;H01L21/683;H01J37/32;H01L43/12;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:44:39