公开/公告号US2019139778A1
专利类型
公开/公告日2019-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201816220583
发明设计人 KEREN JACOBS KANARIK;JEFFREY MARKS;HARMEET SINGH;SAMANTHA SIAMHWA TAN;ALEXANDER KABANSKY;WENBING YANG;TAESEUNG KIM;DENNIS M. HAUSMANN;THORSTEN LILL;
申请日2018-12-14
分类号H01L21/3065;C23C16/455;H01L21/67;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/683;H01L21/311;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:04:47