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BARIUM TITANATE THIN FILM AND BARIUM TITANATE THIN FILM MANUFACTURING METHOD

机译：钛酸钡薄膜及制造方法

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摘要

A barium titanate (BaTiO ₃ ) thin film and a barium titanate thin film production method are disclosed. A barium titanate (BaTiO ₃ ) thin film according to an aspect of the present invention has a root-mean-square root mean square (RMS) of 18 nm or more and 20 nm or less.

机译：公开了一种钛酸钡（BaTiO _{3 ）薄膜和钛酸钡薄膜的制备方法。根据本发明的一个方面的钛酸钡（BaTiO _{3 ）薄膜具有18nm以上且20nm以下的均方根均方根（RMS）。}}

著录项

公开/公告号KR101739989B1

专利类型
公开/公告日2017-05-25

原文格式PDF
申请/专利权人 광운대학교 산학협력단;
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申请/专利号KR20150013518
发明设计人 김남영;왕종;요소;이양;
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申请日2015-01-28
分类号C01G23;C04B35/46;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 13:25:27

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