声明
摘要
第1章绪论
1．1引言
1．2铁电材料
1．2．1铁电材料简介
1．2．2钙钛矿结构铁电材料：钛酸钡
1．3铁磁材料
1．3．1铁磁材料简介
1．3．2尖晶石结构铁磁材料：铁酸钻
1．4多铁材料
1．4．1单相多铁薄膜
1．4．2复合多铁薄膜
1．5多铁薄膜的研究现状和发展趋势
1．6多铁薄膜制备技术的发展及应用水平
1．6．1磁控溅射技术及其在多铁薄膜制备中的应用
1．6．2其它镀膜技术在多铁薄膜制备中的应用
1．7本课题研究的意义及主要内容
1．7．1本课题研究的目的及意义
1．7．2本课题研究的主要内容
第2章薄膜的制备与表征
2．1薄膜样品的制备
2．1．1实验材料
2．1．2研究方法
2．2微观结构表征
2．2．1晶体结构分析
2．2．2微观形貌分析
2．2．3电畴磁畴结构分析
2．3电学性能测试
2．3．1铁电性能
2．3．2介电性能
2．3．3压电性能
2．4磁学性能测试
2．5磁电耦合性能测试
第3章单相BaTiO3和CoFe2O4薄膜制备工艺与结构性能研究
3．1底电极缓冲层对BTO薄膜的影响
3．1．1微观结构
3．1．2介电性能
3．1．3铁电性能
3．2溅射气压对BTO薄膜的影响
3．2．1微观结构
3．2．2介电性能
3．2．3铁电性能
3．2．4绝缘性能
3．3沉积温度对BTO薄膜的影响
3．3．1微观结构
3．3．2介电性能
3．3．3铁电性能
3．4薄膜厚度对BTO薄膜的影响
3．4．1薄膜厚度
3．4．2晶体结构
3．4．3介电性能
3．4．4铁电性能
3．4．5储能密度
3．5退火工艺对CFO薄膜的影响
3．6本章小结
第4章BaTiO3-CoFe2O4复合薄膜溅射工艺与结构性能研究
4．1基体取向对BTO-CFO复合薄膜的影响
4．1．1微观结构
4．1．2介电性能
4．1．3铁电性能
4．1．4绝缘性能
4．1．5铁磁性能
4．2底电极材料对BTO-CFO复合薄膜的影响
4．2．1晶体结构
4．2．2介电性能
4．2．3铁电性能
4．2．4绝缘性能
4．3溅射气压对BTO-CFO复合薄膜的影响
4．3．1微观结构
4．3．2介电性能
4．3．3铁电性能
4．3．4绝缘性能
4．3．5压电性能
4．4沉积温度对BTO-CFO复合薄膜的影响
4．4．1晶体结构
4．4．2介电性能
4．4．3铁电性能
4．4．4绝缘性能
4．5本章小结
第5章BaTiO3-CoFe2O4复合薄膜相分散性与结构性能研究
5．1相结构
5．1．1晶体结构
5．1．2内应力
5．2相分散性
5．3介电性能
5．4漏电流和铁电性能
5．5压电性能
5．6铁磁性能
5．7磁电耦合性能
5．8本章小结
6．1结论
6．2展望
6．3主要创新点
参考文献
致谢
附录
