甩胶喷雾热分解方法制备钛酸钡薄膜的研究

摘要

以乙酸钡、钛酸四丁酯为主要原料制备钛酸钡溶液，采用甩胶喷雾热分解方法制备了BaTiO3薄膜。制备条件为喷嘴距离为2cm，转速为4000转/分钟。通过对溶液的DSC-TG图谱分析确定薄膜的干燥温度为100℃左右，热处理温度为700℃左右。实验表明应用甩胶喷雾热分解方法能够制备较好的BaTiO3薄膜。600℃时，BaTiO3已经完全形成了钙钛矿结构；700℃时薄膜致密均匀。