公开/公告号DE102006016049B4
专利类型
公开/公告日2016-12-15
原文格式PDF
申请/专利号DE20061016049
发明设计人 ANDREAS DR.RER.NAT. SCHLÖGL;HANS-JOACHIM DR. SCHULZE;RALF DR-ING. SIEMIENIEC;ANTON DR.-ING. MAUDER;
申请日2006-04-04
分类号H01L29/78;H01L29/739;H01L21/263;H01L29/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 13:23:11