公开/公告号JP6316877B2
专利类型
公开/公告日2018-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 コリア インスティチュート オブ エナジー リサーチ;
申请/专利号JP20160126051
发明设计人 キファン キム;ジェ-ホ ユン;ジュン-シク チョ;ジヘ カク;ヨン-ジュ オ;アラ チョ;キュンフン ユン;キーシク シン;セジン アン;ジュ-ヒュン パク;ソン-キュ アン;ジン-ス ユ;
申请日2016-06-24
分类号C23C14/06;H01L31/0749;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:07:47