公开/公告号US10096446B2
专利类型
公开/公告日2018-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 NIKON METROLOGY NV;
申请/专利号US201414774424
发明设计人 ROGER HADLAND;
申请日2014-03-12
分类号H01J35/04;H01J35/02;H01J35/10;H02M7/10;H05G1/12;H02M1/32;F16C33/76;F16C35/04;F16J15/16;H01J29/48;H01J35/16;H01J35/06;H01J37/065;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:03:29