x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件

摘要

本发明涉及x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件。具体地，一种电子束设备，包括：真空外壳；以及电子束发生器，所述电子束发生器被安装在所述真空外壳中，所述电子束发生器包括高电压电极以及被安装在所述高电压电极处以便产生电子束的电子发射源，其中：所述电子束发生器还包括被安装在所述电子束发生器内的控制模块；所述电子束设备还包括相对于所述真空外壳的壁而安装的远程模块；所述控制模块包括光电探测器和光电发射器中的一个；所述远程模块包括所述光电探测器和所述光电发射器中的另一个；所述光电探测器被放置为接收由所述光电发射器发射的光；所述电子束设备还包括被布置在所述光电探测器与所述光电发射器之间的光学路径中、用于覆盖所述光电探测器和所述光电发射器中的一个的透明传导屏蔽体。