公开/公告号CN106935462B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 尼康计量公众有限公司;
申请/专利号CN201710058108.X
发明设计人 R·哈德兰德;
申请日2014-03-12
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛
地址 比利时鲁汶
入库时间 2022-08-23 10:20:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
授权
授权
2017-08-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J35/02 申请日:20140312
实质审查的生效
2017-08-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 35/02 申请日:20140312
实质审查的生效
2017-07-07
公开
公开
2017-07-07
公开
公开
2017-07-07
公开
公开
查看全部
机译: X射线源,高压发生器,电子束枪,旋转靶组件,旋转靶和旋转真空密封
机译: X射线源,高压发生器,电子束枪,旋转靶组件,旋转靶和旋转真空密封
机译: X射线源,高压发生器,电子束枪,旋转靶组件,旋转靶和旋转真空密封