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x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件

摘要

本发明涉及x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件。具体地,一种用于x射线源的旋转靶组件,所述组件包括:x射线发射靶;真空壳体;轴,安装所述靶并且穿过所述体的壁;轴承,可旋转地支撑所述轴;以及轴承壳体,支撑所述轴承,并且被安装在真空壳体的所述壁上,其中,通过扭矩限制器将轴承壳体安装在真空壳体的所述壁上,以使得当轴承壳体与真空壳体之间的扭矩超过预定的扭矩时,轴承壳体相对于真空壳体旋转,其中:所述扭矩限制器被布置为在真空壳体与轴承壳体之间施加摩擦力并且被布置为容许真空壳体和轴承壳体在所述预定的扭矩下相对于彼此进行滑动;轴承壳体和真空壳体中的一个具有法兰,而轴承壳体和真空壳体中的另一个具有夹钳组件;所述夹钳组件被布置为将所述摩擦力施加于所述法兰;并且所述夹钳组件包括被布置为接触法兰的一侧的能量吸收板、以及被布置为抵靠着能量吸收板推动法兰的夹钳。

著录项

  • 公开/公告号CN106935462B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 尼康计量公众有限公司;

    申请/专利号CN201710058108.X

  • 发明设计人 R·哈德兰德;

    申请日2014-03-12

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人陈松涛

  • 地址 比利时鲁汶

  • 入库时间 2022-08-23 10:20:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-02

    授权

    授权

  • 2017-08-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J35/02 申请日:20140312

    实质审查的生效

  • 2017-08-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 35/02 申请日:20140312

    实质审查的生效

  • 2017-07-07

    公开

    公开

  • 2017-07-07

    公开

    公开

  • 2017-07-07

    公开

    公开

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