公开/公告号US9842897B2
专利类型
公开/公告日2017-12-12
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201615176073
申请日2016-06-07
分类号H01L29/10;H01L29/78;H01L29/06;H01L27/02;H01L21/02;H01L29/165;H01L29/66;H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/762;H01L29/08;H01L29/161;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:58:18