公开/公告号US9978589B2
专利类型
公开/公告日2018-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 YALE UNIVERSITY;
申请/专利号US201515304135
发明设计人 JUNG HAN;BENJAMIN LEUNG;
申请日2015-04-15
分类号H01L33/00;H01L21/02;C30B25/18;C30B29/20;C30B29/40;H01L21/306;H01L21/308;H01L33/32;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:58:04