公开/公告号US9893047B2
专利类型
公开/公告日2018-02-13
原文格式PDF
申请/专利号US201715490377
申请日2017-04-18
分类号H01L21/66;H01L25;H01L25/065;H01L23;H01L21/78;H01L21/56;H01L21/683;H01L25/16;H01L25/18;H01L25/075;H01L25/11;H01L25/04;H01L25/07;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:41