公开/公告号US2018286751A1
专利类型
公开/公告日2018-10-04
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申请/专利权人 IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/LEIBNIZ-INSTITUT FUR INNOVATIVE;
申请/专利号US201715718480
发明设计人 MATTHIAS WIETSTRUCK;MEHMET KAYNAK;PHILIP KULSE;MARCO LISKER;STEFFEN MARSCHMEYER;DIRK WOLANSKY;
申请日2017-09-28
分类号H01L21/768;H01L21/683;H01L21/306;H01L21/78;H01L23/48;H01L23/528;H01L21/308;H01L23/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:56:25