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AFM and TEM study of the lateral composition modulation in etched and photo etched InxGa1−xP epitaxial layers

机译:AFM和TEM研究InxGa1-xP外延层和蚀刻层中的横向成分调制

摘要

5 páginas, 4 figuras.-- Póster presentado al DRIP-IX : 9ª International Conference on Defects- Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors celebrada en Rimini (Italia) del 24 al 28 de Septiembre de 2001.
机译:5页4图。-2001年9月24日至28日在意大利里米尼举行的DRIP-IX:第九届国际缺陷-半导体识别,成像和物理国际会议上展示了海报。

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