公开/公告号WO2018160502A1
专利类型
公开/公告日2018-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号WO2018US19793
发明设计人 GUREVICH EVGENI;ADEL MICHAEL E.;GRONHEID ROEL;FELER YOEL;LEVINSKI VLADIMIR;KLEIN DANA;AHARON SHARON;
申请日2018-02-27
分类号H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:42:48