公开/公告号US2019049858A1
专利类型
公开/公告日2019-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201815763662
发明设计人 EVGENI GUREVICH;MICHAEL E. ADEL;ROEL GRONHEID;YOEL FELER;VLADIMIR LEVINSKI;DANA KLEIN;SHARON AHARON;
申请日2018-02-27
分类号G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:10