公开/公告号RU2016129598A
专利类型
公开/公告日2018-01-24
原文格式PDF
申请/专利权人 ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ САМАРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ АКАДЕМИКА С.П. КОРОЛЕВА (RU);ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ БЕТАВОЛЬТАИКА (RU);
申请/专利号RU20160129598
发明设计人 ЧЕПУРНОВ ВИКТОР ИВАНОВИЧ (RU);ДОЛГОПОЛОВ МИХАИЛ ВЯЧЕСЛАВОВИЧ (RU);ГУРСКАЯ АЛЬБИНА ВАЛЕНТИНОВНА (RU);ЛАТУХИНА НАТАЛЬЯ ВИЛЕНОВНА (RU);
申请日2016-07-19
分类号C23C16/32;C23C16/44;H01L21/205;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 12:36:32