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窒化珪素材の加工方法

机译：氮化硅材料的加工方法

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【課題】加工速度が速い窒化珪素材の加工方法を提供する。【解決手段】窒化珪素材の表面を加工液の使用下で加工工具により加工する表面加工工程を備え、前記加工液は、ＣＯ_２、ＣＯ_３^２－、及びＨＣＯ_３^－から選択される１つ以上の成分を含み、前記加工液の溶存ＣＯ_２濃度が１．４９ｍｇ／Ｌ以上である窒化珪素材の加工方法。【選択図】なし

机译：解决的问题：提供一种用于处理具有高处理速度的氮化硅材料的方法。提供了使用处理液使用处理工具对氮化硅材料的表面进行处理的表面处理步骤，该处理液为CO _{2 ，CO _{3 。 > ^{2-和HCO _{3 ^{-包含一种或多种选自处理液中溶解的CO _{的组分。 2一种用于处理浓度为1.49 mg / L或更高的氮化硅材料的方法。[选择图]无}}}}}}

著录项

公开/公告号JP2019036695A

专利类型
公开/公告日2019-03-07

原文格式PDF
申请/专利权人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;
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申请/专利号JP20170158926
发明设计人粟田英章;永沢基;大国秀行;
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申请日2017-08-21
分类号H01L21/304;B24B7/22;C04B41/91;C04B35/584;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:19:59

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