公开/公告号US10297453B2
专利类型
公开/公告日2019-05-21
原文格式PDF
申请/专利号US201815935655
发明设计人 CHENG-YEN TSAI;DA-YUAN LEE;JOJO LEE;MING-HSING TSAI;HSUEH WEN TSAU;WENG CHANG;YING-CHIEH HUNG;YI-HUNG LIN;
申请日2018-03-26
分类号H01L21/285;H01L21/28;H01L21/321;C23C16/02;C23C16/455;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:42