公开/公告号US10153154B2
专利类型
公开/公告日2018-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 SOOCHOW UNIVERSITY;
申请/专利号US201415303380
发明设计人 XUHUI SUN;YUJIAN XIA;
申请日2014-06-23
分类号H01L21/02;H01L21/768;C23C16/50;H01J37/32;C23C16/30;C23C16/448;C23C16/507;C23C16/56;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:38