公开/公告号US10340144B2
专利类型
公开/公告日2019-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES LLC;
申请/专利号US201715404675
申请日2017-01-12
分类号H01L21/225;H01L21/02;H01L21/22;C09D153;H01L21/3105;H01L29/167;H01L29/207;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:23