公开/公告号US2017194150A1
专利类型
公开/公告日2017-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES LLC;
申请/专利号US201715404675
申请日2017-01-12
分类号H01L21/225;H01L29/207;H01L29/167;H01L21/02;H01L21/3105;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:47:02