公开/公告号US10276683B2
专利类型
公开/公告日2019-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201715718958
申请日2017-09-28
分类号H01L21/768;H01L29/40;H01L29/47;H01L29/78;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/285;H01L27/092;H01L21/8238;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:13:02