公开/公告号US10312055B2
专利类型
公开/公告日2019-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP HOLDING B.V.;
申请/专利号US201715659631
发明设计人 TOSHIYA SUZUKI;
申请日2017-07-26
分类号C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/02;C23C16/455;C23C16/505;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:12:04