机译:适用于EUV光刻防护膜的胶粘剂和使用该胶粘剂的防护膜
公开/公告号US10126645B2
专利类型
公开/公告日2018-11-13
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201615337747
发明设计人 JUN HORIKOSHI;
申请日2016-10-28
分类号G03F1/62;G03F1/64;C09J183/00;C09J163/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:11:58